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PEB加热机(PEB烘烤机)
真空压膜机MVLP600/700
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预热机
预热机
分类:
TONETS機器
描述
预热机
用途/功能:
本机使用在晶圆嵌入式的高端载板,在基板进入贴膜机前通过非接触式将基板稳定地加热的设备,
贴附感光光膜前,对基板进行预加热,从而有效提升光阻的附着力。
工作原理:
基板在贴膜前,通过提高表面温度,可以有效提高干膜在载板上的粘合性,所以使用本设备对基板
表面预先进行均匀加热,并保持设备内100级洁净度环境。
基板由上游设备传入本设备后,经过高效过滤器的空气,通过设备内的热风加热和温控装置控制将
均匀的热空气循环传递到基板表面,让温度均匀的基板输送到贴膜机,实现提升产品的微细线路品
质和良率要求。
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