非接触式清洁机
采用多级特殊的设计喷嘴（日本专利:4948787）
由尖锐的空气流去除基板表面微灰
与一般设计的清洁机比较去除微尘效果显着
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极薄基板对应
For ultra thin substrate
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高性能空气喷嘴
High performance Air nozzle ( V‐SPEC )
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终极干燥清洁机
Ultimate Dry Cleaner meeting the of the ad-vanced technologies
非接触式清洁机用于PCB・FPD・
电子部品等各种流程，
全球销售量超过2000 台。
- 基于流体力学设计的喷嘴
发挥高效的除尘性能
- 非接触式清洁
可去除孔内及有高度差表面的微尘
与接触式粘尘滚轮相比,不损坏工件且不产生静电
- 高效清洁对应
有助于缩短Tact Time 并提高生产效率
基板传送速度: 700mm/sec (40m/min) 对应
- 精确的吹气控制
可增加发热线跟冷水控制装置,可以进行各种加热流程
V-SPEC 的特征（极薄基板对应）
Features of V – SPEC （Forultra thin substrate ）
- 新开发的非相对Ⅴ线型喷嘴，用于极薄基板。（专利申请中）
- 上下相反方向配置Ⅴ字型Slit，使上下流动间的相互
干扰减小，底材输送稳定并去除微尘
- 解决一直以来极薄板的卷板问题
- 迄今为止被认为难以去除的孔内粉尘，由上下相对的
方向吹2次，可有效去除微尘
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极薄基板对应
板厚t = 0.04mm~可清洁
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V 字型Slit 构造非相对配置
减少由逆流引起的相互干扰，有效减少基板的
颤动和降噪，去除孔边边缘的微尘。
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多级特殊的设计喷嘴（日本专利:4948787 ）
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密集滚轮可稳定传送极薄基板
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可以选择除静电装置
