非接触式清洁机

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非接触式清洁机

采用多级特殊的设计喷嘴(日本专利:4948787)

由尖锐的空气流去除基板表面微灰

与一般设计的清洁机比较去除微尘效果显着

  • 极薄基板对应

For ultra thin substrate

  • 高性能空气喷嘴

High performance Air nozzle ( V‐SPEC )

  • 终极干燥清洁机

Ultimate Dry Cleaner meeting the of the ad-vanced technologies

非接触式清洁机用于PCB・FPD・

电子部品等各种流程,

全球销售量超过2000 台。

  • 基于流体力学设计的喷嘴

发挥高效的除尘性能

  • 非接触式清洁

可去除孔内及有高度差表面的微尘

与接触式粘尘滚轮相比,不损坏工件且不产生静电

  • 高效清洁对应

有助于缩短Tact Time 并提高生产效率

基板传送速度: 700mm/sec (40m/min) 对应

  • 精确的吹气控制

可增加发热线跟冷水控制装置,可以进行各种加热流程

V-SPEC 的特征(极薄基板对应)

Features of V – SPEC (Forultra thin substrate

  • 新开发的非相对Ⅴ线型喷嘴,用于极薄基板。(专利申请中)
  • 上下相反方向配置Ⅴ字型Slit,使上下流动间的相互

干扰减小,底材输送稳定并去除微尘

  • 解决一直以来极薄板的卷板问题
  • 迄今为止被认为难以去除的孔内粉尘,由上下相对的

方向吹2次,可有效去除微尘

  • 极薄基板对应
    板厚t = 0.04mm~可清洁
  • V 字型Slit 构造非相对配置
    减少由逆流引起的相互干扰,有效减少基板的
    颤动和降噪,去除孔边边缘的微尘。
  • 多级特殊的设计喷嘴(日本专利:4948787
  • 密集滚轮可稳定传送极薄基板
  • 可以选择除静电装置