PEB加热机(PEB烘烤机)
用途/功能:
本机为PCB板制程中,对图形曝光完成后的基板进行烘烤，强化和改善感光干膜形成线路的质量。
工作原理:
基板表面贴附的干膜经过DI曝光后，线路图像转移基板感光干膜上，在曝光应用中，由于界面的反射，
会在干膜内部形成干涉，这种干涉会导致显影时在干膜侧壁形成波浪条纹结构，而曝光后的后烘有助
于光反应产物的扩散，随后显影后形成的线路具有更陡峭和更光滑的侧壁。可以有效提升细线路品质。
由风机将设备腔体中的空气吸入加热器位置加热，热风经高效果过滤器过滤，但到class100级洁净
热空气吹到腔体中基板表面，再经风机吸入循环加热和温控器控制达到设定温度；该设备加热升温
速率快，温度均匀性高，无过度加热，同时可控制腔体的洁净度，利于产品良率提高。
