预热机
用途/功能:
本机使用在晶圆嵌入式的高端载板,在基板进入贴膜机前通过非接触式将基板稳定地加热的设备，
贴附感光光膜前，对基板进行预加热，从而有效提升光阻的附着力。
工作原理:
基板在贴膜前，通过提高表面温度，可以有效提高干膜在载板上的粘合性，所以使用本设备对基板
表面预先进行均匀加热，并保持设备内100级洁净度环境。
基板由上游设备传入本设备后，经过高效过滤器的空气，通过设备内的热风加热和温控装置控制将
均匀的热空气循环传递到基板表面，让温度均匀的基板输送到贴膜机，实现提升产品的微细线路品
质和良率要求。
