光学外观检查机MIYABI 7

光学外观检查系统 AOI-MIYABI 7

无论是线路图案检查还是镭射孔检查和分析，都只需要这一台。

可以同时完成通孔和孔顶直径 30μm级别的镭射孔和20μm线路检测。

       LVH 检查

显微镜成像                                                              检查成像

新开发的照明系统可对所有基板实施高精度检查

自主设计的“多角线圆盖型光源”，不仅光照量均匀，而且通过所输入的扫描图像，对于过去难以保证图案
部分和基材部分对比度的基板，也能以较强的对比度成像，从而获得良好的检查结果。

红光源(R)                                     蓝光源(B)                                      近红外光源(IR)