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片對片自動曝光機 (硬板及軟板)

分类:

具备高性能, HAP 的平行光学系统可降低设备的占地面积.机械性及电子性的部分结构在更新设计后​​​​​​​​​​​​​​​​使产能更高,降低成本。

  • 该系统可广泛应用在软板及硬板
  • 设备的占地面积减少15%(相比原始设计)
  • 用垂直曝光方式及down-blow可维持工件的洁净
Hakuto 伯东:

1.隔开曝光区和搬送区

2.同时进行曝光和搬送,提升产能

3.减少曝光区粉尘

4.良好控制曝光区温度

其他制造商:

1.相同的曝光区和搬送区

2.分部进行曝光和搬送,不利产能

3.粉尘在曝光区难被清除

4.控制曝光区温度困难

Hakuto伯东: 垂直曝光对位

1.三轴在一平面→简单机构

2.没有累计误差

3.技术清洁菲林和

其他制造商: 水平曝光对位

1.三轴重叠→复杂机构

2.有累计误差

3.水平式清洁粉尘较困难

规格