1 、高精度细微加工
光学设计的改良和扫描镜的高精度技术,可加工40μm以下的孔径。
2 、三菱电机激光技术汇于一身的UV 激光加工机
1 )软板加工对应机型
搭载适合加工软板主要材料PI(聚酰亚胺)的激光波长355nm的「高速UV激光发振器」,实现高度稳定的加工品质。
2 )稳定的量产加工
搭载可对应宽幅为250/260mm的RtR装置。
对于卷材也可实现稳定的量产加工。
3 )高速绕射加工
高速UV激光发振器,独自生产的扫描镜与新开发的控制方式“Synchrom”技术的完美结合,同步实现了高生产效率与稳定的加工品质。
通过激光光束的绕射加工,加工孔径能达到比光束直径更大的工艺。