双台面双光束机型 GTW5-UVF20系列

1 、高精度细微加工

光学设计的改良和扫描镜的高精度技术,可加工40μm以下的孔径。

2 、三菱电机激光技术汇于一身的UV 激光加工机

1 )软板加工对应机型

搭载适合加工软板主要材料PI(聚酰亚胺)的激光波长355nm的「高速UV激光发振器」,实现高度稳定的加工品质。

2 )稳定的量产加工

搭载可对应宽幅为250/260mm的RtR装置。

对于卷材也可实现稳定的量产加工。

3 )高速绕射加工

高速UV激光发振器,独自生产的扫描镜与新开发的控制方式“Synchrom”技术的完美结合,同步实现了高生产效率与稳定的加工品质。

通过激光光束的绕射加工,加工孔径能达到比光束直径更大的工艺。

 

3 、加工用途事例:微孔加工